第560章
會議城市在羊城。
地點(diǎn)放在羊城奧體中心，可容納8萬人，擠一擠十萬人也是可以的。
具體的后勤保證什么，陳諾聽的索然無味，便離開了。
接下來的時(shí)間里，陳諾繼續(xù)刷生物科學(xué)和神經(jīng)科學(xué)、腦科學(xué)的書本，如此過了兩三天后，那臺吃灰的7nm光刻機(jī)終于運(yùn)到了中科院的一個(gè)研究所的無塵車間內(nèi)。
陳諾倒是想運(yùn)到未來科技實(shí)驗(yàn)室，可這玩意有近200噸，他們實(shí)驗(yàn)室可沒地方安置這個(gè)龐然大物。
“怎么樣，第一次看到這個(gè)大家伙震撼吧！”
周正峰指著光刻機(jī)笑了。
為了將這臺光刻機(jī)從江城運(yùn)到京都，一路上可是拆了好幾個(gè)收費(fèi)站，足足花了六七天時(shí)間才弄到這里來。
陳諾圍著這臺號稱人類智慧集大成的產(chǎn)物轉(zhuǎn)了幾圈，外部有著真空封閉的隔板，什么也看不到。
“陳教授，我們運(yùn)過來簡單，但這一路上的震動(dòng)等等，肯定會有很大的誤差，不經(jīng)過一段時(shí)間的調(diào)試，是無法使用的。”
“浪費(fèi)那個(gè)時(shí)間干嘛，調(diào)試好了也要被我拆掉的。”
陳諾擺了擺手：“只要能啟動(dòng)就行。”
“行了，您該忙啥忙啥吧，這里交給我。對了，再給我找?guī)讉�(gè)身強(qiáng)力壯的人來，這玩意拆起來麻煩，下午兩點(diǎn)前報(bào)到就行。”
周正峰咧嘴笑了一下后，轉(zhuǎn)身就走。
等到所有人離去后，陳諾突然道：“一號，接管光刻機(jī)系統(tǒng)，切斷信號。”
“收到，教授！”
“教授，已經(jīng)接管，完成操作！”
幾秒鐘后，一號就傳來了回應(yīng)，效率相當(dāng)?shù)母摺?br />
陳諾拿過旁邊的操作說明手冊開啟學(xué)神附身卡看了起來。
研究的時(shí)間相當(dāng)?shù)目欤?dāng)他看完操作手冊后，不得不感嘆光刻機(jī)制造商的牛逼，還有比制造商更牛逼的設(shè)計(jì)師們。
只是再精密，今天也難逃被他拆掉的厄運(yùn)。
第一天，陳諾將內(nèi)部封閉框架等給拆掉了，這樣設(shè)備的作用是將工作臺與外部環(huán)境隔離，保持水平，減少外界震動(dòng)干擾，并維持穩(wěn)定的溫度、壓力。
第二天，測量臺、曝光臺被他弄下來了，這兩個(gè)稱之為雙工作臺系統(tǒng)，承載硅片的工作臺。
……
第七天，能量控制系統(tǒng)也被他拆下來了，這個(gè)玩意控制最終照射到硅片上的能量，直接影響到芯片質(zhì)量。
整整七天的時(shí)間，陳諾將這臺價(jià)值5億元的光刻機(jī)拆成了十二個(gè)子系統(tǒng)。
他對整個(gè)光刻機(jī)的組成部分了然于心，零部件啥的他可沒那個(gè)閑心去研究。
每拆一個(gè)大部分，他都會對其中的一些部件、原理、遠(yuǎn)轉(zhuǎn)等研究一翻。
看著眼前被拆的七零八落的光刻機(jī)，心中滿是感慨。
這種級別的光刻機(jī)真如外國的專家所說，給我們?nèi)讏D紙我們也是搞不出來，一是零部件的精度問題，二是組裝精度問題。
這是任何一個(gè)國家或者公司能搞定的，涉及到了光學(xué)鏡頭、光源、軸承等等。
說AMSL是制造商，不如說他們是設(shè)計(jì)商、組裝商更為恰當(dāng)，只要涉及的相關(guān)光源、鏡片等等有一個(gè)卡了它，他們就徹底的完蛋。
可惜在政治的意圖下，這種可能性不大。
這臺光刻機(jī)使用的是FD-SOI工藝，工藝在制造過程中相對簡單，但是SOI基片價(jià)格稍貴。
而陳諾的FinFET工藝制造過程更為復(fù)雜，但基片價(jià)格便宜，讓兩者的實(shí)際制造成本相差不大。
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