第164章 浸入式光刻技術(shù)
兜兜轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)一圈下來,趙燁發(fā)覺再搞出三微米技術(shù)之前,他必須還要腳踏實地的搞出一個中間階段來。
直接上三微米,目前面臨的問題太多了。不是說硬上不行,而是就算做出來了,在應用上一系列的設備根本就支持不了。
這就好比火車提速,不是說你的火車發(fā)動機功率足夠就可以了,你要想跑得快,從車廂設計,轉(zhuǎn)向架,車輪,鋼軌,彎道,線路,等等等等,都要符合提速后的要求才行。這些東西不支持,你光有一個發(fā)動機是不夠的。
第二代光刻技術(shù)如今已經(jīng)很成熟了。
半自動化的操作,讓成品率保持在了一個能夠接受的范圍內(nèi)。如今趙燁看著實驗室里的這臺設備,想的是一個投機取巧的辦法。說白了,就是把現(xiàn)在的干法蝕刻,變成濕法蝕刻。
簡單來講,就是把要照射的硅晶片,浸到水里。
水是種透明的液體,純凈的水,在一定溫度下,它的折射率是固定的。那么把硅晶片放到水里,在紫外光照射到硅晶片之前,要先經(jīng)過水的折射。
只要控制好掩模和光照的方向,就能在現(xiàn)有的設備基礎(chǔ)上,把制程工藝提高半步。
這樣一來,之前制程,就能進步到5微米上下了。
有了這個工藝方法,趙燁就可以在以后的技術(shù)升級中,占有一定的優(yōu)勢。
設想是好的,不過想要實現(xiàn)這個技術(shù),難度也很大。
比如水是液體,在工作臺晃動的時候,水是會跟著動的,而且在工作臺停下來的時候,水是不會立刻就停止運動的。
這樣一來,如果光線照射下來,就會因為水的不均勻,似的折射角度發(fā)生極大的偏差。
所以這個時候,就要求工作臺不能移動,或者是說不能過多移動。
還有一種方法,是把液體的盛在一個密閉的容器里,這樣就能避免液體的波動造成的誤差。
不過這樣一來,也有它的弊端,一是操作不便,效率低下。再者就是用于密封的容器,本身就可以看成一組鏡片。他的純凈度和折射率同樣是不規(guī)整的。
假如可以做出純凈度和折射率都很完美的玻璃,那直接做透鏡組就好啦,干嘛還用來做容器呢?這就是多此一舉了。
用水,本身就是利用了純凈的水容易加工這一特性,再給它加個蓋子,那才是脫了褲子放屁,多此一舉呢。
趙燁一個人蹲在實驗室里,連著好多天都在看著這臺設備發(fā)呆。
周圍的人很多都不怎么認識趙燁,對他的研究風格非常好奇。
可是這些人注定是失望的,趙燁在眾人眼前就是這么蹲著,一點多余的行為都沒有。
既看不到趙燁做驗算,也看不到趙燁畫圖紙。大家不免對趙燁的行為有了不好的猜測。也就是他過去的光環(huán)太耀眼了,否則說怪話的人肯定是少不了的。
就這樣過了幾天,一早來上班的人發(fā)現(xiàn)趙燁終于不再盯著那臺光刻機看了。
因為他已經(jīng)把這臺機器給拆的七零八落。零零碎碎的各種零部件就擺放在一張帆布上。
“趙副處長,您怎么把這臺設備給拆了?這可是要用來做實驗的,咱們八號實驗室就這么一臺呀!”一個小頭頭見到這樣的場景,跑過來就指責趙燁。
趙燁只是看了對方一眼,并沒有多說話。
“趙副處長?你聽到我說話了嗎?你這個態(tài)度……”
“行了,行了。我聽見了,責任我來負,你不用管。”趙燁見那人還想再說什么,終于忍不住打斷了對方的說話。
“趙副處長,我們今天的實驗可就沒法再做了,完不成任務進度,這可不是我們的責任!”那個小頭頭立馬就甩鍋道。
“嗯,知道了。你去忙你的吧,另外你們的實驗任務我知道,這樣,你們小組今天就寫總結(jié)報告,那個實驗任務不用再做下去了。一會兒我給你們新的任務。”趙燁的話更不客氣,說白了,那人只是一個小組長,還沒有資格教趙燁做事。再說了,他怎么進來這個實驗室的,趙燁心里一清二楚。
他確實是沒有權(quán)利讓他走人,不過,既然是進來了這里,服從上級管理和工作安排,這個是最起碼的要求吧,總不至于這個都不行吧。
很抱歉,趙燁是這里的最高領(lǐng)導者。
那個說話的小組長當場就有些石化了,說真的,他們的實驗任務都做了小半年了,不說順風順水吧,起碼思路是已經(jīng)有了的。剩下的就是熬時間,做驗證,直到最佳的方桉被選出來。
可是現(xiàn)在,趙燁輕飄飄的一句話,他們這半年的心血就已經(jīng)打水漂了。
趙燁是領(lǐng)導不假,可是他們也是有脾氣的呀!
“趙副處長,我們小組需要一個解釋!你不能隨隨便便就停掉我們的實驗工作,這里面包含了我們…”
“行了行了,我知道你想說什么,是包含了你們半年多的心血是吧?”趙燁被人說的有些煩躁了,他放下手里的工作站起來,隨手在自己的辦公桌上拿起一疊文件,遞給了對方。
“這是我弄出來的實驗結(jié)果,配方和生產(chǎn)工藝流程都寫在了上面。我就納悶了,一個這么簡單的東西你們弄了半年,你確定你是來這里搞研發(fā)的?不是來混日子的?”
小組長沒有說話,只是拿著趙燁寫的東西仔細的看。
說實話,他沒太看懂。
不過沒看懂也不能表現(xiàn)出來呀!他裝作很認真的樣子,一頁一頁的翻看著趙燁給的資料。
趙燁撇了他一眼,就繼續(xù)忙自己的事情。
等趙燁這邊都進行了好一會兒了,那人又找了過來。
“趙副處長,我們剛剛驗證了一下你給的方桉,我說話直啊,我們覺得這個方桉完全沒有可行性。”
“你們做了驗證實驗?”趙燁一邊忙手里的事情,一邊跟對方說這話。
“是的。”
“這么快就做完了?”
“嗯!這個驗證一下不是很困難。”
“哦,那我問你,你選擇的是哪種催化劑?”
“嗯?催化劑?”小組長愣了一下,完全沒料到趙燁會問他細節(jié),主要是他知道個屁的細節(jié)啊。整個化學小組,只有一個能做實驗的,而且這個人還不是他。
“對呀,你用的哪種?”趙燁依然一邊忙手里的事情,一邊跟對方說話。
“這個,我去問一下!”小組長憋了半天,蹦出來這么幾個字。
說完,轉(zhuǎn)身就要走。
“等等,我讓你走了嗎?你是化學小組的組長,現(xiàn)在我問你實驗過程呢,你還要去問誰?你不會連實驗都不會做吧?”
“我,我是不會做實驗,可是,可是我是行政干部,不需要…”
“不需要直接做實驗對不對?”趙燁又撇了他一眼,然后說道:“可是我看了財務記錄,你每個月都領(lǐng)著實驗室的實驗津貼,還有各種實驗室的補助,那我想問你一句,你一個行政干部,為什么要領(lǐng)這個配發(fā)給一線研究員的補助呢?”
“趙副處長,我雖然是行政干部,但我也是在一線工作的呀!我領(lǐng)這個補助,也是經(jīng)過了廠里認可的。”小組長辯駁道。
“呵呵,有道理啊。不過那是以前的做法,既然現(xiàn)在實驗室是我負責,這個規(guī)矩就要改一改了。你以后要么就參與實驗工作,要么就不用進實驗室了。我還從來沒見過,一個行政干部觍著臉領(lǐng)研究員才能拿的實驗室補貼的。”
趙燁絲毫沒有給對方留面子,他知道這個家伙有背景,他也不關(guān)心他背后的人是誰,敢在他的實驗室里亂搞,趙燁肯定不能留著他的。
“你這可越界了,趙副處長。我的工作安排是廠委決定的,不是你趙副處長決定的。”小組長這個時候那里不清楚自己被趙燁給針對了!不過他是李副廠長的人,他相信,趙燁肯定不會駁了李副廠長的面子的。
“既然是廠委決定的你的工作安排,那你現(xiàn)在就可以去廠委領(lǐng)取新的工作了。”
正在說話間,一個聲音就從他們背后響了起來。
趙燁都沒回頭,就已經(jīng)聽出了是張委員的聲音了。
張委員是什么人?剛剛聽了那么幾句就知道這是一個濫竽充數(shù)的家伙。
這樣的人進了實驗室,難怪這個實驗室的產(chǎn)出越來越差了呢。
“李廠長,我…”小組長不認識張委員,但他認識現(xiàn)在張委員身后的李副廠長。
剛想說幾句話,可是李副廠長一下子就打斷了他的話頭,然后說道:“錢組長,你現(xiàn)在就去交接一下工作,然后去廠委報道吧。”
“啊!我。”錢組長驚訝壞啦,這個李副廠長怎么回事兒?怎么裝作不認識自己的樣子呢?
“你怎么了?還有事兒?”李副廠長又一次打斷了對方的話,他心里惱火的要命,以前怎么沒看出來,這家伙這么蠢啊!
在李副廠長殺人的目光中,那個錢組長終于意識到了什么,趕緊脫離這幫人的視線,不知道跑到那里去了。
“趙燁,怎么樣?有什么想法嗎?”張委員說話,還是比較親切的。
“有了一些,不過張委員啊,我就是渾身是鐵也打不了幾顆釘呀,我們現(xiàn)在太缺人手了。”
“缺人手?”張委員環(huán)顧一周,看看周圍站著的一圈人,又把目光放到了趙燁身上,那意思好像再說,這些不是人么?
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