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第391章 那些光刻機(jī)的往事


  沙瑞勒·內(nèi)維爾喝著手里拿著的咖啡,看著電腦新聞網(wǎng)站,最近那鬧的沸沸揚(yáng)揚(yáng)的到底誰抄了誰的新聞.

  搖了搖頭,笑著把電腦上相關(guān)的網(wǎng)頁全都關(guān)閉了。

  這東西,誰抄誰有什么好爭的,誰先生產(chǎn)出來,誰先申請(qǐng)專利,那就是誰的,國際上不都是這么操作的嗎?這些媒體也無聊,這東西也有什么值得爭的?

  從視頻上來看,那個(gè)華國的騙子不就隨便弄了點(diǎn)軟件在電腦上運(yùn)行了一下而已,而這邊米國的腰子科技公司,連樣品都拿出來了,要知道,兩個(gè)月不到的時(shí)間可不能把那些說出來的科技與系統(tǒng)上的設(shè)想完善,這么一對(duì)比。

  那誰抄誰的不是一目了然嗎?

  再說了,華國有這種科技實(shí)力,研發(fā)這么高級(jí)的東西嗎?

  他們不一直喜歡偷買一些別人家的產(chǎn)品,把上面的LOGO打磨掉冒充自家的產(chǎn)品嗎?

  “哼——”

  還是自家的產(chǎn)品好——光刻機(jī)。

  這種高端的東西,就算華國的那些垃圾如何想來碰瓷都不行,這就是人類歷史最頂級(jí)的科技與技術(shù),讓那些想碰瓷垃圾感到絕望。

  沙瑞勒·內(nèi)維爾他是A斯麥公司,下一代產(chǎn)品的項(xiàng)目總工程師。

  得益于,灣積電一個(gè)叫做林奔堅(jiān)的鬼才工程師出現(xiàn)了,讓A斯麥押注的沉浸式光刻機(jī)成功的使得原有的193nm激光經(jīng)過折射,直接越過了157nm的天塹,降低到132nm。

  把原本世界上的光刻機(jī)霸主,櫻花的N康與J能踩在了腳下。

  當(dāng)然,如今幾者差距還不算大。

  A斯麥,還在小心翼翼,加大科研的投入。

  想要把這個(gè)差距擴(kuò)大。

  擴(kuò)大到讓全世界都死心的地步。

  為此,這家公司,受到了全歐洲最大的科研經(jīng)費(fèi)的投入。

  如今的人均科研經(jīng)費(fèi)甚至排在了全歐洲第二位,遠(yuǎn)高于其他企業(yè),甚至是軍工企業(yè)。

  從這點(diǎn)上便可以看出,整個(gè)歐美對(duì)這項(xiàng)技術(shù)的支持。

  不過想起了,櫻花。

  沙瑞勒·內(nèi)維爾也只是微微的為他們惋惜了一陣而已。

  身為項(xiàng)目內(nèi)的人員,他更清楚這些年因?yàn)楣饪虣C(jī),歐米這邊所干的陰暗往事。

  其實(shí),造成如今這一切的并不止是簡簡單單兩千年初踏錯(cuò)了干刻濕刻之分。

  更像是一場有預(yù)謀的陰謀。

  早于1997年,在米國政府一手干預(yù)下,尼康被EUVLLC排擠在外時(shí),這已經(jīng)注定了如今光刻機(jī)市場A斯麥一家獨(dú)大的結(jié)局。

  前面提到,當(dāng)年為了嘗試突破193nm,英特爾更傾向于激進(jìn)的EUV方案,于是早在1997年,歐米那邊就聯(lián)合起來成了了一個(gè)叫EUVLLC的聯(lián)盟。

  聯(lián)盟中的名字個(gè)個(gè)如雷貫耳:除了Y特爾和牽頭的M國能源部以外,還有M托羅拉、,以及能源部下屬三大國家實(shí)驗(yàn)室:L倫斯利弗莫爾國家實(shí)驗(yàn)室、S迪亞國家實(shí)驗(yàn)室和L倫斯伯克利實(shí)驗(yàn)室。

  這些實(shí)驗(yàn)室是米國科技發(fā)展的幕后英雄,之前的研究成果覆蓋物理、化學(xué)、制造業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各種前沿方向,有核武器、超級(jí)計(jì)算機(jī)、國家點(diǎn)火裝置,甚至還有二十多種新發(fā)現(xiàn)的化學(xué)元素。

  于是,資金到位,技術(shù)入場,人才云集,但偏偏聯(lián)盟中的米國光刻機(jī)企業(yè)年代就被尼康打得七零八落,根本爛泥扶不上墻。

  本來英特爾想拉來尼康和A斯麥一起入伙,并不想A斯麥一家獨(dú)大。

  但問題是,這兩家公司,一個(gè)來自櫻花,一個(gè)來自何蘭,都不是米國本土企業(yè)。

  而偏偏,米國政府又將EUV技術(shù)視為推動(dòng)本國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù),并不太希望外國企業(yè)參與其中,更何況八十年代在半導(dǎo)體領(lǐng)域壓了米國風(fēng)頭的櫻花,甚至可以這么說,如今的華國有多想要光刻機(jī),當(dāng)年的米國就多想要光刻機(jī)。

  光刻機(jī)又幾乎逼近物理學(xué)、材料學(xué)以及精密制造的極限。

  光源功率要求極高,透鏡和反射鏡系統(tǒng)也極致精密,還需要真空環(huán)境,配套的抗蝕劑和防護(hù)膜的良品率也不高。

  別說櫻花與何蘭,就算是米國,想要一己之力自主突破這項(xiàng)技術(shù),也是癡人說夢。

  米國自然不會(huì)想讓櫻花投誠然后,繼續(xù)扼住米國半導(dǎo)體咽喉的機(jī)會(huì)。

  于是在一份提交給國會(huì)的報(bào)告之中,專家明確指出“尼康可能會(huì)將技術(shù)轉(zhuǎn)移回櫻花,從而徹底消滅米國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)”。

  櫻花是敵人,但何蘭還是有可能發(fā)展成自家的“漂亮國好同志”。

  當(dāng)?shù)玫竭@個(gè)消息,何蘭A斯麥,第一時(shí)間就表示了自己誠意,同意在米國建立一所工廠和一個(gè)研發(fā)中心,以此滿足所有米國本土的產(chǎn)能需求。另外,還保證55%的零部件均從米國供應(yīng)商處采購,并接受定期審查。

  這就是為什么米國能禁止何蘭的光刻機(jī)出口華國,一切的原因都始于此時(shí)。

  一見小弟這么給力,米國那邊直接不要臉了,

  開啟了更為厲害的騷操作。

  廣場協(xié)議,櫻米半導(dǎo)體協(xié)議,直接加增100%的關(guān)稅等等一系列損招全都用了出來。

  可櫻花只能含淚,牙齒掉了往肚里咽,全都答應(yīng)了下來,沒辦法,自家老窩都在別人的炮管之下,那有它蹦跶的份,不過這也讓櫻花心里其實(shí)是憋了一口老血想噴的。

  最終,米國能源部和A斯麥達(dá)成了協(xié)議,允許其加入EUVLLC,共同參與開發(fā),共享研究成果。

  之后的六年,EUVLLC的研發(fā)人員發(fā)表了數(shù)百篇論文,大幅推進(jìn)了EUV技術(shù)的研究進(jìn)展,割地求和的A斯麥雖然只是其中的小角色,但也有機(jī)會(huì)分得一杯羹。

  分享技術(shù)只是一方面,收購走后門其實(shí)也是米國送給A斯麥的一份大禮。

  之后米國的Cymer公司研發(fā)出EUV所需的大功率光源,成為A斯麥的供應(yīng)商,更在四年后以25億美元高價(jià)直接被阿斯麥并購。

  別忘了,這可是光刻機(jī)的核心零件,這樣頂尖的技術(shù),全球范圍也不超過三家。

  毫不夸張的說,A斯麥雖然是一家何蘭企業(yè),但崛起的背后,其實(shí)是一場地地道道的米國式成功。

  錯(cuò)而失EUV關(guān)上了尼康光刻機(jī)的大門,加上諸多盟友的背叛則徹底焊死了尼康想要突圍的出路。

  說實(shí)話,當(dāng)年的英特爾為了防止核心設(shè)備供應(yīng)商一家獨(dú)大,其實(shí)還是挺想帶著尼康一起玩的。

  32nm工藝制程時(shí)甚至獨(dú)家采用尼康的光刻機(jī),而之前的45nm,之后的22nm,也都是尼康和A斯麥同時(shí)供貨。就連在oVision大會(huì)上,英特爾還宣布將一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm節(jié)點(diǎn)。

  但備胎終究是備胎,一轉(zhuǎn)身,英特爾就為了延續(xù)摩爾定律的節(jié)奏,巨資入股A斯麥,順帶將EUV技術(shù)托付。

  另一邊,相比一步步集成了全球制造業(yè)精華的A斯麥,早年間就習(xí)慣單打獨(dú)斗的N康在遭遇米國封鎖后,更是一步步落后,先進(jìn)設(shè)備技術(shù)跟不上且不提,就連落后設(shè)備的制造效率也遲遲提不上來。

  當(dāng)年,相同制程,A斯麥宣稱“每小時(shí)可加工片晶圓”,而尼康的數(shù)據(jù)是“每小時(shí)200片”。

  但果真如此嗎?這背后涉及到了一個(gè)叫做稼動(dòng)率的制造業(yè)名詞。簡單理解為一臺(tái)機(jī)器設(shè)備實(shí)際的生產(chǎn)數(shù)量與可能的生產(chǎn)數(shù)量的比值。

  使用A斯麥的設(shè)備,三星與臺(tái)積電的稼動(dòng)率常年維持在95%上下.

  而這邊尼康,被迫自研,什么零件都要自己做,但什么東西卻總有是差點(diǎn)意思。

  導(dǎo)致同一批次的相同設(shè)備,每一臺(tái)的性能都不盡相同。

  簡單來說,就像買了二十臺(tái)手機(jī),這臺(tái)只能發(fā)微信,那臺(tái)只能刷視頻,另一臺(tái)開網(wǎng)頁……

  設(shè)備雖便宜,但稼動(dòng)率最多只能達(dá)到50%左右,對(duì)晶元代工廠來說,實(shí)在不劃算。

  因此,英特爾新CEO上任后,立刻拋棄了尼康,甚至后來就連大陸的芯片代工廠都看不上N康的光刻機(jī),就可想而知,N康的發(fā)展有多么的沒落,最終N康只能慢慢退出芯片光刻。

  生產(chǎn)出的設(shè)備,只能賣給S星、LG、J東方,用來生產(chǎn)面板。

  這邊舊人哭,那邊新人笑,2012年,Y特爾連同S星和灣積電,三家企業(yè)共計(jì)投資億歐元,先后入股A斯麥,以此獲得優(yōu)先供貨權(quán),結(jié)成緊密的利益共同體。

  站在EUVLLC的肩膀上,背靠米國支持,又有客戶送錢,A斯麥自此正式成為“全村人的希望”,在摘取EUV光刻機(jī)這顆寶石的道路上,一路孤獨(dú)的狂奔。

  終于,在2015年,第一臺(tái)可量產(chǎn)的EUV樣機(jī)正式發(fā)布。

  正所謂機(jī)器一響,黃金萬兩,當(dāng)年只要能搶先拿到機(jī)器開工,就相當(dāng)于直接開動(dòng)了印鈔產(chǎn)線,EUV光刻機(jī)也因此被冠上了“印錢許可證”的名號(hào)。

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