第一六四章 KrF 248nm紫外光刻機(jī)
“岸然,這事我必須當(dāng)面和你說(shuō)清楚,這七套設(shè)備雖然都是1.5微米制造工藝,不過(guò)其中有四臺(tái),和其他的有些區(qū)別。”
王岸然一下來(lái)了興致。
“有什么不一樣?”
“有三臺(tái)使用的是高壓汞燈i線365納米光源,而另外四臺(tái)……”
“張教授,你倒是說(shuō)啊!”
張大京嘴角帶著笑,指著王岸然說(shuō)道:“岸然,我一直以為你比別的年輕人沉得住氣,現(xiàn)在看來(lái),只是沒(méi)找到你感興趣的東西啊!”
王岸然白了張大京一眼,說(shuō)道:“張教授,你再不說(shuō),我可要翻臉了啊!”
“好!好!”張大京搖搖頭,說(shuō)道:“岸然,有四臺(tái)使用的是Krf248納米準(zhǔn)分子激光光源。”
額,王岸然感覺(jué)呼吸都有些急促,krf準(zhǔn)分子激光光源有兩種波長(zhǎng),一種是248納米,另外一種就是193納米。
這跟高壓汞燈光源不一樣的是,高壓汞燈光源還屬于可見(jiàn)光,而krf準(zhǔn)分子激光已經(jīng)邁入紫外線的范疇。
雖然國(guó)內(nèi)早已經(jīng)開始了krf準(zhǔn)分子激光的研究,而且取得了相應(yīng)的成果,不過(guò)適用于光刻的248納米光源,要求的是百焦級(jí)別的高功率,以及粒子均勻性要在千分之零點(diǎn)三的范圍內(nèi)。
門檻就在這里。
事實(shí)上,年就將krf準(zhǔn)分子激光光源用于半導(dǎo)體光刻,而十五年過(guò)后,對(duì)國(guó)內(nèi)來(lái)說(shuō),還是一道深不可測(cè)的技術(shù)門檻。
沒(méi)想到,這玩意竟然被張大京搞來(lái)了……
王黯然忙問(wèn)道:“張教授,我記得激光光源是瓦森納協(xié)議中禁止貿(mào)易的,你怎么……?”
“岸然,你錯(cuò)了,瓦森納協(xié)議中限制出口的列表,今年沒(méi)有把列入其中。
不過(guò)需要說(shuō)明的是,這款激光器是不可以用作軍事用途的,所以,他們會(huì)派人監(jiān)管,并定期檢查的。”
自己的消息還是滯后了啊!
王岸然搖搖頭,如果248納米光刻機(jī)解除禁運(yùn)的話,國(guó)外已經(jīng)在193納米光刻機(jī)的應(yīng)用上有了長(zhǎng)足的進(jìn)步,甚至在深紫光上有了突破。
原因很簡(jiǎn)單,瓦森納協(xié)議的核心就是N-2政策,西方審批出口的依據(jù)就是,對(duì)華出口的設(shè)備必須是落后兩代。
而實(shí)際上,審批程序很復(fù)雜,等真拿到設(shè)備的時(shí)候,差不多已經(jīng)是第三代的了,基本上比起國(guó)際主流的技術(shù)要落后10年左右。
這也沒(méi)辦法,王岸然喝了一口水,他想到一件事,忙問(wèn)道:“張教授,這條芯片生產(chǎn)線,可以……”
張大京打斷王岸然的話,說(shuō)道:“岸然,這是我另外要說(shuō)的一件事,248納米激光光源光刻機(jī),可以經(jīng)過(guò)改造,用于1微米制程的芯片生產(chǎn),不過(guò),涉及一系列復(fù)雜的光學(xué)曝光技術(shù),這些專利是要折算成資金入股的!”
這個(gè)王岸然沒(méi)有意見(jiàn),如果能改造成沉浸式光刻機(jī),320納米制程都沒(méi)問(wèn)題。
張大京拿出一份文件遞給王岸然。
“股權(quán)結(jié)構(gòu)?”
張大京點(diǎn)點(diǎn)頭。
王岸然翻開一看,愣住了。
7億美金只占了35%的股份,張大京團(tuán)隊(duì)以技術(shù)入股,占15%的股份,張大京自領(lǐng)5%的干股,后面跟著一大串投資人。
王岸然還看到了老伙計(jì)高盛,還有新加坡投資集團(tuán),灣島國(guó)際等,這么多家,一共才出資3億美元,加部分專利授權(quán),占股45%。
“岸然,你是知道的,拉高盛進(jìn)來(lái),也是為我們的設(shè)備審批能夠快一點(diǎn),畢竟高盛在公關(guān)上還是有一套的。”
王岸然倒不是為高盛入伙頭疼,他是為華芯科技出了資金的大頭,占的股份確只有三分之一多一點(diǎn)。
唯一讓王岸然有些安慰的,就是自己仍然是這家公司最大的股東。
因?yàn)榍懊嬉呀?jīng)承諾,自己的股份,投票權(quán)已經(jīng)交給張大京,而張大京的團(tuán)隊(duì)加上張大京自己的有20%的股份。
加在一起就是55%的股份,完全可以讓張大京在新公司說(shuō)話能算數(shù)。
可華芯科技也太虧了吧!
“可誰(shuí)讓自己沒(méi)有技術(shù)呢!活該被宰。”
王岸然搖搖頭,這個(gè)時(shí)候想跟人家玩,不出點(diǎn)見(jiàn)面禮肯定是不行的。
“岸然,還有一點(diǎn)我需要明確一下,一是員工股票池,這是需要各股東按比例出的,現(xiàn)在暫定的是3%
另外就是,這家公司最終是要上市!”
王岸然點(diǎn)點(diǎn)頭,張大京拉了這么多的資本進(jìn)來(lái),而資本是追求利潤(rùn)的,不上市,怎么把股份套現(xiàn)……
“張教授,關(guān)于專利入股的事,我需要我的團(tuán)隊(duì)評(píng)估一下各個(gè)專利的價(jià)值,其他的,我這邊沒(méi)有問(wèn)題。對(duì)了,張教授,廠房定了沒(méi)有?”
“還沒(méi)有,我們的人正在和港府協(xié)調(diào),目前來(lái)看,還沒(méi)有找到合適的地皮。”
王岸然也沒(méi)說(shuō)話,留著張大京去公關(guān)吧!
等他碰壁了之后,他會(huì)知道,在大陸建廠也是一個(gè)不錯(cuò)的選擇。
…………
就在王岸然和張大京糾纏不清的時(shí)候,官方內(nèi)部圍繞著“是不是由華芯科技來(lái)主導(dǎo)光刻機(jī)的開發(fā)。”展開了激烈的討論。
為此官方特別邀請(qǐng)了一眾科學(xué)家院士和高科技國(guó)企老總參與座談。
劉承志也是在這里才知道,華芯科技竟然將觸角伸到光刻機(jī)領(lǐng)域,還打報(bào)告給發(fā)改委高科技司,這要讓你做成了,以后國(guó)內(nèi)的行業(yè),還有幻想科技的一席之地?
“我反對(duì)讓華芯科技主導(dǎo)光刻機(jī)研發(fā),剛才的報(bào)告我也看了,華芯科技要求國(guó)家,在技術(shù)上對(duì)項(xiàng)目進(jìn)行支持。
這是用國(guó)家的資源為他私人企業(yè)來(lái)謀利……”
倪廣南憋了一肚子的火,在這個(gè)場(chǎng)合下,他也不好拍桌子,耐著性子等到劉承志說(shuō)完,才說(shuō)道:“我是贊成的,至于為什么,我想大家都知道,研發(fā)光刻機(jī)的難度。
即便是舉國(guó)之力,也不一定研發(fā)出世界一流的光刻機(jī),這明顯是燒錢的項(xiàng)目,只有蠢貨,才會(huì)想著從這里占國(guó)家的便宜!”
劉承志老臉一紅,投向倪廣南的目光有些怨恨。
“老不死的,你就是想著跟勞資作對(duì)是吧……”
接下來(lái)的發(fā)言大概支持和反對(duì)參半,或者反對(duì)多一些,畢竟很多人對(duì)華芯科技并不放心。
輪到蘇老時(shí),他重重的將拐棍在地板上敲了兩下。
在這里,也就蘇老有這個(gè)譜,老魔童的威風(fēng)可不是蓋的。
“我也聽(tīng)出來(lái)了,大家剛才反對(duì)的理由無(wú)非是兩個(gè),一個(gè)是害怕華芯科技占國(guó)家的便宜,而另外一個(gè)理由就是怕華芯科技干不好,怕他們承擔(dān)不起這個(gè)責(zé)任。”
“我先說(shuō)說(shuō)第一個(gè)理由吧,劉總,你也是科院出來(lái)的,你沒(méi)看到華芯科技在學(xué)術(shù)研究上,投入了多少個(gè)課題,有幾個(gè)課題是能夠盈利的。
在坐的或多或少都有參與吧,我記得有幾個(gè)數(shù)學(xué)、物理上的基礎(chǔ)課題研究,華芯科技是無(wú)償支援的,我倒想問(wèn)問(wèn)劉總,你們幻想科技資助了幾個(gè)課題,又在這方面投入了多少資金……”
劉承志傻眼了,怎么蘇老一上來(lái),就把炮口對(duì)準(zhǔn)他。
“蘇老,這不是一回事,而且幻想科技也給科院上繳了不少利潤(rùn)嘛,這也是支持科研啊!”
“屁,那是應(yīng)該的,科院是你們的大股東,你還想著不上繳利潤(rùn)?”
劉承志被噎的一句話說(shuō)不出,心里只盼著蘇老,您早點(diǎn)說(shuō)完,早點(diǎn)結(jié)束,在這里,簡(jiǎn)直活受罪。
蘇老懟了劉承志一頓,然后轉(zhuǎn)頭看向大家,繼續(xù)說(shuō)道:“罷了,我再說(shuō)一件事,你們聽(tīng)了就知道,華芯科技會(huì)不會(huì)借這個(gè)項(xiàng)目斂財(cái)了。”
“蘇老您說(shuō)!”
蘇青森站了起來(lái),長(zhǎng)呼一口氣,說(shuō)道:“華芯科技把國(guó)家退稅的近八個(gè)億拿了出來(lái),再加上價(jià)值五十個(gè)億的華芯科技股份,用這筆錢成立了一個(gè)科技獎(jiǎng)的基金,在做的各位,都有可能成為這筆基金的收益人……”
“呼!”
“五十八億!”
“這是要干什么……”
蘇老瞄了一下全場(chǎng),又繼續(xù)說(shuō)道:“我可以負(fù)責(zé)任的擔(dān)保,華芯科技絕對(duì)不會(huì)從這個(gè)項(xiàng)目來(lái)斂財(cái)。”
燕京光學(xué)器材公司總經(jīng)理卜向東搖搖頭,在他看來(lái),讓自己這么一個(gè)大國(guó)企跟在一家私企后面混,面子上過(guò)不去。
見(jiàn)蘇老說(shuō)完,忙跟著發(fā)言道:“可是蘇老,這也不能說(shuō)明,華芯科技有這個(gè)能力,來(lái)?yè)?dān)負(fù)這么大的一個(gè)項(xiàng)目啊!”
“沒(méi)有這個(gè)能力?”蘇青森搖搖頭。
“我不知道什么叫有能力,華芯科技開發(fā)的EDA軟件,應(yīng)該有不少人在用吧。
他們開發(fā)的操作系統(tǒng)肯定也有人見(jiàn)過(guò)。
小型機(jī)服務(wù)器,還有那處于世界頂尖水平的顯卡,你們也應(yīng)該用過(guò)。
更不用說(shuō)就快要發(fā)布的CPU……”
臺(tái)下竊竊細(xì)語(yǔ)。
“沒(méi)想到華芯科技開發(fā)出這么多重量級(jí)的產(chǎn)品,幾乎沒(méi)一項(xiàng)都填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)的空白,還有CPU,他們開發(fā)了CPU了嗎?性能怎樣?”
“我只知道他們想開發(fā)CPU來(lái)著,難道他們的CPU出成品了?”
在場(chǎng)的有一大半并不知道這個(gè)事。
蘇青森看向劉承志,說(shuō)道:“小劉,你說(shuō)說(shuō)吧,華芯科技的CPU,你最清楚了。”
所有人的目光投向劉承志,只見(jiàn)他站了起來(lái),極不情愿的對(duì)眾人說(shuō)道:“華芯科技確實(shí)生產(chǎn)出了CPU,而且性能,已經(jīng)達(dá)到世界先進(jìn)水平……”
“吁!”
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